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AWM90000 系列气体质量流量传感器采用久经时间验证的热桥技术。AWM90000 系列不仅能够提供 AWM1000 系列的许多优良性能,而且传感器采用的平台更加经济实惠。有质量流量和差压两种版本可供选择。
AWM92100V 的流量范围为 ±200 sccm,而 AWM92200V 为 ±2.0 英寸 H2O 的压差型号。
这些传感器具有 1 ms 的快速响应时间,其电源电压为 8.0 Vdc 至 15.0 Vdc,而功耗仅为 50 mV。
AWM90000 系列让客户能够自定义传感器功能,满足客户各种应用需求。
补偿温度范围
0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]
流量/压力范围
±200 sccm
±5.0 mbar [2.0 英寸 H20]
电源电压
最小 8.0 Vdc,典型值 10.0 Vdc,最大 15.0 Vdc
UNSPSC 代码
41111931
冲击
100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)
输出温漂
25% 读数,典型值 (-25°C 至 25°C [-13°F 至 77°F]);
-30% 读数,典型值 (25°C 至 85°C [77°F 至 185°F])
典型值 -3% FSO (-25°C 至 25°C [-13°F 至 77°F]);
典型值 ±1% FSO (25°C 至 85°C [77°F 至 185°F])
零位
±15.0 mV dc
端口类型
并行
传感器电流
最大 0.6 mA
信号调节
非放大式 (mV)
UNSPSC 商品
41111931 流量传感器
可重复性
±0.35 % FSO
±0.1% 读数,典型值
调整点的输出电压
200 sccm 时为 77.0 mV dc
在水中 2.0 时为 38.0 mV dc
存储温度
-40°C 至 125°C [-40°F 至 251°F]
介质兼容性
仅干燥气体
系列名称
AWM90000
功耗
典型值 50 mW
工作温度
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
整个温度范围内的零位
典型值 ±2.0 mV dc (-25°C 至 25°C [-13°F 至 77°F]);
典型值 ±2.0 mV dc (25°C 至 85°C [77°F 至 185°F])
响应时间
典型值 1 ms,最大 3 ms
共模压力
25 psi